潮科技MEMS之父HarveyNathanson离世留下名贵遗产

编者按:本文来自微信大众号“MEMS”(ID:MEMSensor),作者麦姆斯咨询殷飞,原文标题《MEMS之父Harvey Nathanson离世,留下名贵遗产》,36氪经授权发布,略有删减。

据麦姆斯咨询报导,公认的微机电体系(MEMS)技能之父Harvey C. Nathanson,于2019年11月22日在匹兹堡逝世,享年83岁。Nathanson出生于匹兹堡的一个药剂师家庭,后来成为美国西屋电气(Westinghouse)研讨试验室的固态电子学前驱。

Harvey C. Nathanson

1950年代,Nathanson幼年时期就经过Hi-Fi邮购套件学习模仿电子学常识。为了忠于自己的兴趣喜好,他拒绝了接手父亲的药房生意,转而就读卡内基技能学院(Carnegie Technical School),也便是后来的卡内基梅隆大学(Carnegie-Mellon University)。

Nathanson从卡内基取得博士学位结业后,加入了西屋电气。1965年,他提出了第一款MEMS器材设想,一种用于微电子固态无线电的微型机械调谐器。Nathanson和Robert Wickstrom、William Newell协作开发了这款器材,并作为一种微电子频率挑选设备申请了的专利。随后,这款器材的改进版作为谐振栅晶体管(RGT)取得了专利,尔后一般被认为是第一款真实意义上的MEMS器材。

Harvey C. Nathanson创造的第一款MEMS器材

MEMS能够运用传统半导体制作工艺来制作,不过,它们探究实践运用的开展相对缓慢。1980年代,当摩托罗拉(Motorola)为某些工业传感运用供给MEMS器材时,它们依然是一种别致的东西。

彼时的半导体工业一向专心于晶体管集成。跟着亚德诺半导体(Analog Devices)在1993年推出ADXL-50类型MEMS加速度计,MEMS总算取得了广泛的商场重视。之后,MEMS跨入了消费电子工业,并在移动电话(手机)范畴斩获了巨大的商场,现在每年的出货量达到了数十亿颗。

跟着MEMS的蓬勃开展,Nathanson持续在西屋电气作业,创造了以献身层技能为特征的外表加工技能。1973年,他取得了运用微型运动反射镜创立视频显现的专利,后来,德州仪器(TI)在其数字光处理(DLP)技能中采用了这种MEMS反射镜阵列,将其用于数字投影仪。

来自MEMS之父的经历

美国国防部愿意为必要的研讨供给满足的预算,这是Nathanson成功开发首款MEMS器材的根底。有鉴于此,Nathanson为未来的创造立异人员提出了一条要害主张:“找一个有满足资金支撑的范畴。”他还主张从事研讨作业的人员逐渐树立自己的名誉,以便能够发掘相关的资源,助力自己的科学研讨。

Nathanson强调了在科学期刊和媒体上发表文章的重要性,这是树立自己名誉的重要一环。Nathanson表明:“假如您能轻松的取得地点范畴的遍及尊重,这有助您取得所需求的研制资金,包含来自政府的资金支撑。”

当然,钱不是全能的。关于真实期望探究未知范畴的人,正如Nathanson其时创造MEMS那样,具有宽广的视界至关重要。因而,Nathanson对研讨人员的第二条主张,是坚持阅览广泛范畴的科技期刊,跟上其他范畴的新开展。“这将为您自己的研讨供给丰厚的思路和创意。”

一般,彻底不同范畴的研讨或能跟咱们的科学研讨碰撞出思想火花,然后创立一种全新的解决方案。不过,一款成功的产品不止是一个好点子,它还有必要为用户和客户带来实践的利益。Nathanson的理念是:“假如您真的想开发一款对用户有实践意义的产品,您需求协作伙伴。”Nathanson主张电子工程师和物理学家,特别要跟体系专家多协作。

毕生痴迷电子学

Nathanson一向对电子学和晶体管技能十分感兴趣。小时候,他运用电源和灯泡做试验,烧毁了不少保险丝。后来,从一位喜好录音技能的朋友那里,他学到了许多有关电子管、麦克风和Hi-Fi体系的常识。终究,他将自己的兴趣喜好变成了作业。在卡内基取得电气和电子工程博士学位之后,他在匹兹堡城外的西屋电气研讨试验室开端了他的作业生涯。他在一个支撑西屋电子体系部分的研讨小组作业,该小组也为美国国防部分开发了许多项目。

1965年,年仅29岁的他受老板William E. Newell博士组织,开发一种用于集成电路的小型化调谐办法。那时的解决方案既不行小,也没有供给所需求的质量。Nathanson的方针是开发一种小型化的机械谐振器。

Nathanson回想称:“新解决方案有必要是低成本的,能够正常的运用现有IC制作技能来出产的,而且还具有输入和输出电路。便是要寻觅一种能够代替现有大型、低质量LC谐振电路的解决方案。我和咱们的技能人员Robert Wickstrom一同,开发、规划并演示了首款谐振栅晶体管,并为其注册了第一批专利,随后投入了样品出产。咱们开发的那款MEMS器材是第一款具有可移动微机电元件的集成电路。”

Nathanson对MEMS的创造并没有使他成为富豪,由于他是作为西屋电气的一名职工而创造的MEMS。不过,他后来在电子范畴的作业生涯也很亮眼。他成为西屋电气Research Labs担任电子器材研讨的首席科学家。在这个人物时期,他为西屋电气和诺斯罗普·格鲁曼(Northrop Grumman)打造了许多立异的国防技能解决方案,后来诺斯罗普·格鲁曼收买了这个研讨小组。

Nathanson说:“创造MEMS给了我很大的自由空间,使我能够在整个作业生涯中进行其他研讨。”2001年,他成为了MEMS Industry Group(MIG,现为MEMS & Sensor Industry Group)的创始人,并一向担任董事会成员,Nathanson在退休后仍以荣誉身份与公司保持着亲近的联络。Nathanson在2001年退休,但并非彻底退休,直到2012年他一向是诺斯罗普·格鲁曼公司的参谋。

2000年,Nathanson凭仗“对社会和电子器材范畴的杰出贡献”而被电气和电子工程师协会(Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE)颁发千禧奖章(Millennium Medal)。

即便到了80岁高龄,他依然没闲着。他一向重视着宠爱的半导体范畴的开展,例如,Nathanson对新式超微型原子钟在相干RF信号处理中的潜在效果十分感兴趣。Nathanson十分乐于将他的经历共享给我们。他一向热衷于参加有关新主意的讨论。

现在,人们运用Nathanson创造的MEMS在可穿戴设备等范畴拓荒了许多全新的技能运用,但他依然将自己视为一个“传感人”。Nathanson早年估量也没有预料到,他根据对Hi-Fi和收音机作业原理的猎奇,创造出了改动国际的名贵遗产——MEMS。

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